核工业部的安工脸色永远像钢板一样冷硬。
他制定的安全规程细致到近乎苛刻,进入气瓶间必须两人同行,穿戴防静电服和护目镜;任何操作前必须进行气体泄漏预想和应急预案口头复述;工具必须使用防爆型;气瓶固定链的松紧程度都有规定……
航天一院的流体工程师,对管道施工质量有着偏执的要求。
双套管系统的焊接全部采用自动轨道焊,焊前坡口加工精度、焊后X光探伤,一个环节都不能少。
他拿着放大镜和焊缝检验尺,一寸寸地检查,不合格的焊缝立即割掉重焊。
气体泄漏探测器的安装和调试花了大量时间。
催化燃烧式探测器对氢气、硅烷敏感,但对磷烷、砷烷效果不佳;电化学式探测器精度高,但寿命短,容易中毒。
最终采用了组合方案,关键点位安装双探测器,信号引入中试线中央控制室,并设置了声光报警和自动切断阀联动逻辑。
微振动与热变形控制,是一场静默的战争。
哈工大包教授带头做理论计算,制定隔振方案,但现场实施起来困难重重。
在光刻机预定位置开挖基础坑时,发现地下有老旧的管线,不得不重新调整位置。
浇筑独立惯性基础时,对混凝土的配比、浇筑速度、养护条件都有严格要求,以确保基础内部密实、无裂缝。
特制的钢丝绳隔振器和空气弹簧组合隔振平台,由机床研究所和红星所机械加工车间联合试制。
第一批样品的阻尼特性不理想,在模拟振动台上测试时,共振峰值过高。
包教授连夜调整参数,重新设计内部结构,第二批样品才基本满足要求。
热补偿管道的安装考验的是细心和经验。
连接扩散炉的冷却水管、工艺气管,全部换成了不锈钢波纹管。
安装时,必须根据设备冷热态的位移量,精确计算波纹管的预拉伸或预压缩量,并设置好导向支架,防止管道扭曲或承受额外应力。
老师傅们拿着尺子和水平仪,反复测量调整,嘴里念叨着:“热胀冷缩,差之毫厘,谬以千里。”
为了治理“脏”电,广播局和武水院的团队使出了浑身解数。
“工业级精密电源柜”的研制并不顺利。
宽范围输入的交流稳压器,在负载突变时响应速度不够快,导致输出电压有毛刺。
飞轮储能装置的小型化是个难题,高速旋转下的动平衡和轴承寿命需要反复测试。
老周师傅贡献了广播设备的“稳压稳流”电路经验,结合武水院的电力电子技术,对电路进行了一次次修改调试。
第一个原型柜做出来,体积有半个衣柜大,噪音像台小型发电机,但测试显示,它确实能在市电瞬间跌落20%的情况下,维持输出稳定50毫秒以上。
“先解决有无问题,再解决好坏问题!”老周师傅抹了把汗,对略显失望的年轻人说,“这大家伙,先给光刻机用上。其他的关键设备,咱们再做小一点的、安静一点的改进型。”
整个中试线区域的供电改造同步进行。
重新铺设了独立的供电电缆,尽量远离大功率负荷。
接地系统重新设计,采用了网状接地结构,降低接地电阻,确保所有设备有一个干净、稳定的地电位参考。
材料界面问题,虽然设备还没到场,但故障中心也在积极准备。
他们在中试线规划中专门设置了一个“故障分析样品制备间”和一个“数据记录中心”。
任何工艺异常产生的硅片,都必须按照规范进行标识、包装、记录异常现象和工艺条件,然后送往“样品制备间”,由专人进行非破坏性的初步检查,并切片、制作后续分析的样品。
同时,所有相关的设备运行数据、环境参数、操作记录,都必须誊抄或复制一份,存入“数据记录中心”归档。
这些,都将作为送往上海进行分析的“病历”附件。
知识转型,贯穿于整个建设过程,润物无声,却也阻力重重。
吕辰牵头,组织各区域负责人和骨干操作员,开始编写《中试线标准操作规程(草案)》。
从更衣风淋流程,到光刻机开机自检步骤;从扩散炉工艺配方设置,到四探针测试仪校准方法;甚至包括如何正确填写设备运行日志、如何报告异常、如何进行交接班……事无巨细,都要求形成文字。
“吕工,这记录表是不是太细了?每小时记录一次温度、压力、流量……我们光顾着填表了,还怎么盯工艺?”一位年轻技术员也面露难色。
吕辰召集了一次全体会议,就在尚未完工的车间里,大家坐在临时搬来的条凳上。
“我知道,大家觉得这些规程、记录繁琐,束缚手脚。”吕辰开门见山,“但是,中试线用的,是真正的、昂贵的高纯硅片,是老师们呕心沥血研制出来的光刻胶、特种气体。我们每一步操作的成本,都比模拟线高十倍、百倍。我们犯错的代价,不仅仅是时间和金钱,更是‘星河计划’前进的节奏,是国家对我们这支队伍的信任。”
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