清晨的黄浦江畔还弥漫着薄雾。
吕辰、宋颜、谢凯三人在路边小店简单吃了碗阳春面，便再次赶往漕河泾工业区，这次的目标是上海试剂总厂。
如果说光刻机是芯片制造的“雕刻刀”，那么超纯化学试剂就是“清洗剂”和“蚀刻液”。
没有达到电子级纯度的酸碱溶液，硅片表面的微量污染就无法去除，精细的电路图形也无法刻蚀出来。
上海试剂总厂的大门不怎么气派，但戒备森严。
厂区围墙更高，门口除了门卫，还有专门的安检人员，对进出车辆和人员都要仔细检查。
“试剂厂很多原料和产品都是易燃、易爆、强腐蚀、有毒的，安全是第一位的。”前来迎接的技术科李科长解释道。
他四十岁上下，身材瘦削，戴着深度近视眼镜，说话语气平和但条理清晰，典型的化工技术人员气质。
在简朴的会议室落座后，宋颜教授直接切入主题，递上一份详细的试剂需求清单。
“李科长，芯片制造对化学试剂的纯度要求，可能比贵厂目前生产的最高等级分析纯还要高出一个数量级。”
李科长接过清单，扶了扶眼镜，仔细阅读起来。
清单上列出了十几类关键试剂，每一类后面都标注着令人咋舌的纯度指标。
氢氟酸（HF）：电子级，金属离子总量＜10ppt（万亿分之一），颗粒物＞0.1μm＜10个/mL
过氧化氢（H?O?）：电子级，稳定剂含量＜1ppm，金属离子＜1ppb（十亿分之一）
硫酸（H?SO?）：电子级，灼烧残渣＜0.1ppm，铁含量＜0.01ppm
硝酸（HNO?）、盐酸（HCl）、磷酸（H?PO?）……
有机溶剂：丙酮、异丙醇、N-甲基吡咯烷酮……水分＜10ppm，金属离子＜0.1ppb
李科长的眉头渐渐皱起，但眼神中没有退缩，反而是一种遇到高难度挑战时的专注。
“电子级……ppt级……”他轻声重复着这些术语，“实话说，我们厂目前大批量稳定生产的，最高是优级纯，金属离子控制在ppb级。ppt级的产品，实验室小批量能做，但批次稳定性、一致性是个大问题。”
他抬起头，目光锐利：“不过，难不倒我们。上海试剂总厂的前身是中央研究院化学所的试验工厂，建国后承担了许多特种试剂的攻关任务。高纯试剂的难点不在于原理，而在于工程，如何在整个生产、储存、输送过程中，避免任何可能的污染。”
宋颜教授点头：“这正是我们来寻求合作的原因。我们知道贵厂有国内最强的电子级试剂研发能力。‘星河计划’可以提供明确的需求牵引和部分研发资源，希望与贵厂共同攻关，建立中国自己的电子级试剂生产体系。”
李科长沉吟片刻，手指在桌面上轻轻敲击：“需求很明确，也很紧迫。芯片制造我们虽然不了解细节，但知道它对洁净度的要求是极致的。这样，我先带你们参观一下我们的高纯试剂生产线和分析检测中心，你们对实际工程难度有个直观感受，我们再谈具体合作。”
参观是从相对安全的“超纯水制备车间”开始的。
巨大的离子交换树脂柱排列成行，原水经过多级过滤、反渗透、电去离子，最终产出电阻率高达18.2兆欧·厘米的超纯水。
“芯片清洗用的超纯水，要求比医院注射用水还要高几个数量级。”李科长指着一排监测仪表，“细菌、颗粒物、溶解气体、总有机碳……，每一项都有严格限制。我们的超纯水系统是国内最先进的，但距离芯片制造的要求，还有差距，主要是颗粒物控制不稳定。”
接着是高纯酸生产线，这里的气氛明显紧张起来，所有工人都穿着全套防酸服、戴防毒面具和耐酸手套。
生产线是全封闭的，只有透过厚厚的观察窗才能看到内部情况。
吕辰注意到，在一些标识着“高纯氢氟酸”的银色不锈钢管道旁，阀体表面总有一些难以消除的黯淡痕迹，像是被什么东西咬过一样。
旁边的工具架上，堆着一小筐更换下来的阀芯，个个被腐蚀得面目全非，有的甚至出现了蜂窝状的穿孔。
“看到问题了？”李科长顺着吕辰的目光，苦笑道，“氢氟酸，特别是高温高浓度的氢氟酸，是‘什么都吃’的。不锈钢？几个月就穿孔。特种合金？贵得吓人，也只能撑一两年。这些阀门、泵、管道，每时每刻都在被腐蚀，腐蚀下来的金属离子就直接污染了试剂。”
他拿起一个报废的阀芯，表面布满了麻点：“就这个小小的阀芯，用的是含钼镍基合金，一个就要上百元。这条生产线每年光更换阀门配件就要花几万元，这还是次要的。关键是腐蚀产物污染试剂，让我们的产品纯度卡在ppb级，很难再往上突破。”
谢凯用笔记本快速记录着，同时问道：“不能用塑料或陶瓷吗？”
本小章还未完，请点击下一页继续阅读后面精彩内容！